高溫測(cè)量鐵電參數(shù)測(cè)試儀本測(cè)試系統(tǒng)采用虛地模式測(cè)量電路，與傳統(tǒng)的Sawyer-Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測(cè)試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對(duì)測(cè)試的影響環(huán)節(jié)，比較容易定標(biāo)和，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測(cè)量，它不僅能畫(huà)出鐵電薄膜的電滯回線(xiàn)，還可以定量得到鐵電薄膜材料的飽和化ps、剩余化Pr、矯頑場(chǎng)Ec、漏電流Ik等參數(shù)，以及對(duì)鐵電薄膜材料鐵電疲勞、鐵電保持的測(cè)試。能夠測(cè)量鐵電薄膜的鐵電。儀器采用一體化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)測(cè)試結(jié)果全數(shù)字化，操作簡(jiǎn)單方便。