四探針電阻率測試儀也有很多種，例如高溫的或者常溫的，不同的四探針電阻率測試儀針對(duì)不同的材料測量的參數(shù)也是不同的。

    舉例，高溫四探針電阻率測試儀可以測量硅、鍺單晶電阻率和硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃和其他導(dǎo)電薄膜的方塊電阻，主要用于評(píng)估半導(dǎo)體薄膜和薄片的導(dǎo)電。

    高溫四探針電阻率測試儀就是，主要測量的參數(shù)就是半導(dǎo)體材料的電阻、電阻率、方塊電阻等。

    電阻率測試儀特點(diǎn)

    多參數(shù)同屏顯示：電阻率、溫度同屏顯示。

    微機(jī)化：采用高CPU芯片、AD轉(zhuǎn)換技

    術(shù)和SMT貼片技術(shù)完成電阻率和溫度的測量、溫度補(bǔ)償、量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，精度高，重復(fù)性好。

    高可靠性：單板結(jié)構(gòu)，觸摸式按鍵，無開關(guān)旋鈕和電位器。

    自動(dòng)轉(zhuǎn)換測量頻率：避免電極極化，提高測量精度。

    相敏檢波設(shè)計(jì)：消除導(dǎo)線對(duì)測量的影響。

    25℃折算：溫度補(bǔ)償自動(dòng)測量/手動(dòng)輸入。

    防水防塵設(shè)計(jì)：防護(hù)等級(jí)IP65，適宜戶外使用。

    電磁兼容性(EMC/RFI)設(shè)計(jì)：按歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN50081/50082設(shè)計(jì)制造。

    報(bào)警功能：報(bào)警信號(hào)隔離輸出，報(bào)警上、下限可任意設(shè)定，報(bào)警滯后撤消。

    工業(yè)控制式看門狗：確保儀表不會(huì)死機(jī)。

    網(wǎng)絡(luò)功能：隔離的電流輸出和RS485通訊接口；電流對(duì)應(yīng)電阻率的輸出上、下限可任意設(shè)定。

    采用流通式、沉入式、法蘭式或管道安裝。